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TMAのTSUPREM-4およびMedici TCADツールから
SILVACOのATHENAおよびATLAS TCADツールへの
移行容易性


SILVACOのTCADプロセス/デバイス・シミュレータとTMAベースのTCADプロセス/デバイス・シミュレータは、ともにスタンフォード大学による共通の資産を継承しています。TMAベースのツールとSILVACOのツールは、シンタックス、入力、出力、動作の点で非常に類似しています。これは、この20年間に渡る、TMAベースのツールの機能および互換性を確保するためのSILVACOの取り組みの成果です。


現在、TMAベースのツールは、Synopsysによる継続的開発の中心テーマではなく、TMAのユーザは、メンテナンスもサポートも不十分な高価なTCADツールとともに取り残されています。その間、SILVACOは、スタンフォード大学ベースのTCADプロセス/デバイス・シミュレータであるATHENAとATLASの開発を続けてきました。SILVACOは、新しい材料、新しい物理モデルを続々と導入し、最新の半導体テクノロジへのソリューションを提供しています。SILVACOソフトウェアは、TMAベースのツールが持つ有効な機能をすべて持つだけでなく、それ以上の利点を提供します。すなわちTSUPREM-4とMediciの上位互換ソフトウェアということができます。


SILVACOのTCADツールへの切り替えは、シンプルで容易です。たとえ、SILVACOのTCADツールへ移行しても、TMAツールを使用して開発した設計資産は十分活用できます。モデル係数の再調整や、新しいソフトウェア操作の習得は必要ありません。


ATHENA/TSUPREM-4互換機能

  • キーワードやパラメータのパーサ・シンタックス
  • if/else、loop/l.modify、コントロール・ステートメントの割り当て
  • 物理モデル
  • 材料パラメータのデフォルト値
  • TSUPREM-4マスク・ファイルをサポート
  • TSUPREM-4デフォルトまたはユーザ定義注入テーブルをサポート

ATLAS/Medici互換機能

  • キーワードやパラメータのパーサ・シンタックス
  • if/else、loop/l.modify、コントロール・ステートメントの割り当て
  • 物理モデル
  • 材料パラメータのデフォルト値
  • アプリケーション・モジュール
  • TMA ASCII TIFファイルおよびドーパント・プロファイルのインポート

SILVACOのTMA互換性の重要なメリット

  • 次の点で同一内容をサポート
    • 物理
    • シンタックス
    • インポート・ファイル・フォーマット
  • 既存のTSUPREM-4/Medici入力ファイルは、ATHENA/ATLASで「そのまま」再利用できます。これにより、長年に渡って蓄積されたノウハウやキャリブレーションを直接移行できます。
  • 互換機能は、長年に渡り、既存のTMAベースTCADユーザと検証済みです。

TSUPREM-4とMediciは、Synopsys, Incの商標です。