シルバコ・ジャパン ： SILVACO Japan

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EXACT

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HIPEX
フルチップ寄生素子抽出ツール

EXACT

フルチップLPEルール・ファイル生成ツール

EXACTは、ナノメータ半導体プロセスに対して配線モデルを高精度に計算し、フルチップLPE (レイアウト寄生素子抽出)用のルール・ファイルを生成します。強力な3次元フィールド・ソルバとスクリプト言語により、任意のフルチップ寄生素子抽出ツールと連携して使用できます。

主な特徴

• 非平坦な半導体形状に対応する強力な3次元フィールド・ソルバは、特殊なエッチ形状、デュアル・ダマシン、low-k誘電体を高精度にモデリング可能
• 3次元フィールド・ソルバは、抽出パフォーマンスを損なうことなく、配線容量モデルを計算し、極めて高精度なLPEルール・ファイルを生成可能
• 直感的で使いやすいGUIにより、新規ユーザから熟練のプロセス・テクノロジ開発者まで、容易にプロセス・レイヤの記述やテスト構造の定義が可能
• 標準モードの動作でほとんどの従来型プロセスに対応でき、アドバンスト・モードではより複雑で非平坦なプロセス定義に対応
• 強力なスクリプト言語により、任意のフォーマットにデータを加工可能

EXACTのフロントエンド	コンフォーマルに堆積された、非平坦多層絶縁膜を持つ 多層金属配線プロセス

スムーズな導入と優れた操作性

• デッキの自動生成と3次元フィールド・ソルバの自動実行
• メニュー方式のパラメタライズド・レイアウト生成機能により、テスト構造およびパターンを容易に生成可能
• LISAスクリプト言語を使用して、LPEファイルを容易に作成可能
• 柔軟なアーキテクチャにより、計算した寄生データを、xCalibre、Calibre xRC、Diva/Dracula LPE、HIPEXなどの幅広いカスタム方程式に適用可能
• プロセスおよびレイアウトのプレビュー

高い生産性と汎用性

• バッチモード･オプションにより、再キャラクタライズの自動実行が可能
• アドバンスト・モードの動作では、熟練ユーザ向けに、より高度なプロセス・モデルを提供
• 容量変動に対する統計解析が可能
• 実験の解析を容易にする、わかりやすい抽出容量テーブル
• ワークシート/オプティマイザ
• マルチプロセッサ・マシン対応
• 1D/2D/3Dモードの自動選択

EXACTで作成および使用されるテスト構造の例	DOEで使用する任意のテスト構造に対し、 パラメタライズド・レイアウトを容易に作成可能

オリジナルのEXACT容量データと、 そのデータの合わせ込みに使用された、 最適化された係数を持つ方程式との比較	合わせ込み作業をインタラクティブに制御できる オプティマイザ・ウィンドウ

先進の半導体プロセスをサポート

• EXACTの配線寄生容量モデリングは以下をサポートします。
• 平坦/非平坦の誘電体
• low-k誘電体および銅ダマシン・プロセス
• 誘電体のコンフォーマル・デポジション
• OPC (光近接効果補正)にもとづくサブ波長リソグラフィ効果
• 配線容量に対するプロセス変動効果
• 統計解析およびワーストケース寄生解析は、既知のプロセス・マージンを抽出データに適用して実行
• 非平坦な半導体形状に対応する強力な3次元フィールド・ソルバは、特殊なエッチ形状、デュアル・ダマシン、low-k誘電体を高精度にモデリング可能
• 3次元フィールド・ソルバは、抽出パフォーマンスを損なうことなく、配線容量モデルをキャリブレートし、極めて高精度なLPEルール・ファイルを生成可能
• 内蔵のオプティマイザにより、合わせ込みおよびプロセス最適化の精度が向上
• フローティング導体をシミュレーション可能

実験で得られたデータを表示するワークシート

EXACTで生成されたMentor Graphics社仕様のxCalibre/Calibre xRCルール・ファイル

容量係数のプロセス変動効果を、グラフィカルに表示できます(a)。 統計解析も行えます(b)。 ヒストグラムは、金属ジオメトリの既知のマージンによる、ラテラル容量の期待分布を示します。

2007年12月1日現在