Mercuryは、FETの高速シミュレーション向けに最適化されたATLASのモジュールです。Mercuryは物理方程式に基づいており、デバイスの予測シミュレーションに使用できます。また、高速にシミュレーションを実行できるので、FET設計におけるトレンドの分析や生産の歩留まりの評価が可能です。
Mercuryは、擬似2次元FETシミュレーション・モジュールです。擬似2次元シミュレーション・モジュールは、2つの1次元ソルバが連動して機能します。1つ目のソルバは、デバイス表面に垂直な方向に、チャネル領域に渡ってポアソン方程式を解きます。これによりソースからドレインまでの1次元チャネルの特性を得ます。2つ目のソルバは、デバイスの端子特性を生成するためにこのチャネルに沿って輸送方程式を計算します。

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