シルバコ・ジャパン ： SILVACO Japan

DevEdit

構造/メッシュ・エディタ

DevEditを使用して、デバイスを新規に生成、または既存のデバイスを再メッシュ/編集することが可能です。また、DevEditは、シルバコの2次元/3次元シミュレータおよびその他の支援ツールで容易に読み込むためのシルバコの標準構造を作成します。

特徴

• 任意の材料や多角形の領域を指定。
• 既存領域、材料、形状、ベースの不純物を修正。
• 既存領域の一部を自動的にエッチング、または既存領域を変更せずに、デバイスに新規の領域を追加。
• 電極の位置、名前、仕事関数を定義。

• Gaussianまたは相補誤差関数などの解析的ドーピング・プロファイルを追加。
• 新規の2次元ドーピング・プロファイルを作成するために複数の2次元デバイスの組み合わせが可能。
• 1次元ドーピング・プロファイルをインポート。
• 1次元ドーピング・プロファイルと解析的ドーピング・プロファイルを組み合わせて、迅速かつ現実的なドーピング濃度を生成。
  

• 最小限の鈍角三角形で高品質の三角形メッシュを生成。
• 重要ではない領域の要素を削減しながら、細分化の基準に従ってメッシュ要素を維持。
• 材料タイプ、品質変更、位置、相関位置を含む複数の基準に基づいた、メッシュ要素の増減を制御可能。

• 2次元メッシュに使用した同じアルゴリズムに基づいて高品質の三角柱または四面体を作成。
• シンプルで柔軟な平面作成アルゴリズムを使用して、理解しやすい1平面細分化の基準を3次元に拡張可能。

• ATHENAやALTASなどのプロセス・シミュレータおよびデバイス・シミュレータによって生成された2次元構造を読み込み可能。
• SSuprem3やATHENAの1次元ドーピング・プロファイルを読み込み可能。
• ATHENAやATLASなどのプロセス・シミュレータおよびデバイス・シミュレータ向けに2次元構造を書き出し可能。
• ATLAS-3DやVictoryなどのデバイス・シミュレータ向けに3次元構造を書き出し可能。

2008年9月5日現在