シルバコ・ジャパン ： SILVACO Japan

Elite

高度な物理エッチング/デポジション・シミュレータ

Eliteは高度な2次元形状シミュレータで、先進の半導体テクノロジに対して、物理エッチング、デポジション、リフロー、およびCMP平坦化などのプロセスをモデリングします。EliteはATHENAフレームワーク内で実行され、SSuprem4およびOptolithなどのプロセス・シミュレータとシームレスで双方向に統合されます。また、モンテカルロ法をベースとした粒子によるエッチングおよびデポジションをモデリングする、MC Deposit/Etchシミュレーション・モジュール(オプション)を使用することもできます。

2008年8月20日現在