Elite

Elite は高度な2 次元形状シミュレータで、先進の半導体テクノロジに対して、物理エッチング、デポジション、リフロー、 およびCMP 平坦化などのプロセスをモデリングします。Elite はATHENA フレームワーク内で実行され、SSuprem4 およびOptolith などのプロセス・シミュレータとシームレスで双方向に統合されます。また、モンテカルロ法をベー スとした粒子によるエッチングおよびデポジションをモデリングする、MC Deposit/Etch シミュレーション・モジュー ル( オプション) を使用することもできます。

2008年8月20日現在