シルバコ・ジャパン ： SILVACO Japan

MC Deposit/Etch

モンテカルロ法を用いた2次元デポジション/エッチング・モジュール

MC Deposit/Etchは、ATHENAフレームワークを介してEliteとシームレスに接続する高度な形状シミュレーション・モジュールです。このモジュールにはいくつかのモンテカルロ法をベースとしたモデルが含まれ、粒子の流れを利用したエッチング/デポジション・プロセスをシミュレートします。　

2008年8月20日現在