MC Deposit/Etchは、ATHENAフレームワークを介してEliteとシームレスに接続する高度な形状シミュレーション・モ ジュールです。このモジュールにはいくつかのモンテカルロ法をベースとしたモデルが含まれ、粒子の流れを利用した エッチング/デポジション・プロセスをシミュレートします。