MC Deposit/Etchは、ATHENAフレームワークを介してEliteとシームレスに接続する高度な形状シミュレーション・モ ジュールです。このモジュールにはいくつかのモンテカルロ法をベースとしたモデルが含まれ、粒子の流れを利用した エッチング/デポジション・プロセスをシミュレートします。
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