シルバコ・ジャパン ： SILVACO Japan

Optolith

高度な2次元光学リソグラフィ・シミュレータ

Optolithはパワフルな非平坦に対応した2次元リソグラフィ・シミュレータで、最新のディープ・サブミクロンに対するリソグラフィのすべての要素(結像、露光、フォトレジスト・ベーク、現像、リフロー) をシミュレートします。実際に試作して、マスクの印刷適正やプロセス管理を評価することと同様のことが、Optolithを使用すると、高速で正確に行えます。また、マスクとレジストの距離による投影結像と近接をシミュレートします。

2008年8月20日現在