ATHENA 1D

ATHENA 1D は、業界標準の2 次元プロセス・シミュレータ、ATHENA の1 次元モードです。汎用的な1 次元プロセス・シミュレータとして、半導体プロセスで形成されるドーピング・プロファイルや膜厚の予測に使用できます。シルバコの2 次元プロセス・シミュレータであるATHENA は、さまざまな製造テクノロジの設計と最適化のために半導体業界で広く利用されています。ATHENA 1D は、ATHENA と同一の物理モデルを使用することで、優れた精度と極めて高速な実行を実現し、プロセス・フロー全体を非常に短い時間でシミュレートすることができます。また、ATHENA 1D にはランタイム環境のDeckBuild、ビジュアライゼーション・ツールのTonyPlot が付属し、使いやすい環境を提供します。入力ファイルの編集、内蔵のオプティマイザやDOE ( 実験計画) 機能など、DeckBuild の広範な機能を活用できます。