シルバコ・ジャパン ： SILVACO Japan

ATHENA 1D

1次元プロセス・シミュレータ

ATHENA 1Dは、業界標準の2 次元プロセス・シミュレータ、ATHENAの1次元モードです。汎用的な1次元プロセス・シミュレータとして、半導体プロセスで形成されるドーピング・プロファイルや膜厚の予測に使用できます。シルバコの2次元プロセス・シミュレータであるATHENAは、さまざまな製造テクノロジの設計と最適化のために半導体業界で広く利用されています。ATHENA 1Dは、ATHENAと同一の物理モデルを使用することで、優れた精度と極めて高速な実行を実現し、プロセス・フロー全体を非常に短い時間でシミュレートすることができます。

2009年9月28日現在
Rev. 091009_01