ATHENA

ATHENA フレームワークは、プロセス・シミュレーション・モジュールをシルバコのTCAD インタラクティブ・ツールで構成する使いやすい環境に統合します。ATHENA はスタンフォード大学で開発された世界的に有名なシミュレータSUPREM-IV を進化させたもので、多数の教育/ 研究機関や企業の開発者の方々との共同開発で、多くの新しい性能が付加されています。ATHENA は、イオン注入、拡散、酸化、エッチング/ デポジション、リソグラフィ、ストレス形成およびシリサイド化など、半導体産業で使用されるプロセスをシミュレートするための便利なプラットフォームです。