SSuprem3

SSuprem3 は包括的な汎用1 次元プロセス・シミュレータです。半導体プロセスで生成されるドーピング・プロファイ ルや膜厚の予測に使用されます。SSuprem3 は正確で、非常に高速、そして使いやすいシミュレータです。短時間で、 プロセス・フロー全体をシミュレートします。そして相互作用性に優れているので、DeckBuild から起動させ、プロセス・ シミュレーションのインプット・デッキを編集、またはTonyPlot を起動させ、結果のグラフィック化やポスト・プロ セスが実行できます。デバイス・シミュレータとのインターフェース機能も装備しているので、デバイス・シミュレータで、 デバイス・レベルのシミュレーションを実行する際は、入力ファイルとしてシミュレーション・プロファイルを使用することが可能です。また、内蔵の電気特性に関するソルバ機能により、しきい値電圧を抽出できます。

2008年8月30日現在