シルバコ・ジャパン ： SILVACO Japan

SSuprem3

1次元プロセス・シミュレータ

SSuprem3は包括的な汎用1次元プロセス・シミュレータです。半導体プロセスで生成されるドーピング・プロファイルや膜厚の予測に使用されます。SSuprem3は正確で、非常に高速、そして使いやすいシミュレータです。短時間で、プロセス・フロー全体をシミュレートします。そして相互作用性に優れているので、DeckBuildから起動させ、プロセス・シミュレーションのインプット・デッキを編集、またはTonyPlotを起動させ、結果のグラフィック化やポスト・プロセスが実行できます。デバイス・シミュレータとのインターフェース機能も装備しているので、デバイス・シミュレータで、デバイス・レベルのシミュレーションを実行する際は、入力ファイルとしてシミュレーション・プロファイルを使用することが可能です。また、内蔵の電気特性に関するソルバ機能により、しきい値電圧を抽出できます。

2008年8月30日現在