シルバコ・ジャパン ： SILVACO Japan

VICTORY Stress

3次元ストレス・シミュレータ

VICTORY Stressは、包括的な材料ストレス・モデルを使用して3次元構造におけるストレスと移動度増大因子を計算する3次元ストレス・シミュレータです。材料ストレス・モデルには、結晶方位における弾性係数の依存性が含まれます。

主な特徴

• 結晶質シリコンにおける3次元異方性ストレス・シミュレーション
• 実デバイス構造に対して、材料の等方性および異方性特性、境界条件、初期条件を考慮したストレス解析
• 熱による材料間の不適合のシミュレーション
• 移動度増大因子の見積もり
• デポジションされた材料層における真性ストレスを考慮
• キャップ層におけるハイドロスタティック・ストレス・モデル
• VWFによる実験計画法(Design of Experiments: DOE)を使用して、ゲート長や厚さのばらつきなどのプロセス・パラメータ依存のストレスを解析
• お客様とサード・パーティ企業の大切な知的財産を守る、シルバコの強力な暗号化技術を利用可能

2010年11月5日現在
Rev.110210_05