シルバコ・ジャパン ： SILVACO Japan

VWF

バーチャル・ウェハ・ファブ

VWFはDOE (実験計画)と最適化実験を行うためのソフトウェアです。スプリット・ロット実験は、あらかじめ決められたさまざまな解析手法で使用できます。VWFを使用すると、シルバコが提供するすべてのプロセス/デバイス/回路シミュレータに対してスプリット・パラメータを定義できます。すべてのシミュレーションは、ワークステーション・クラスタ上または1台のSMPマシン上で並列処理が可能です。VWFはGUIを搭載しており、実験結果の確認もGUIで行えます。

主な特徴

• VWFはプロセス・シミュレーションからSPICE回路性能シミュレーションにいたるフロー全体または一部を表現可能。
• フレキシブルなシステムにより、実験の入力変数としてマスク、プロセス・パラメータ、デバイス・パラメータ、回路パラメータ、調整係数を自由に組み合わせて定義可能。
• DOE (Box-Behnken計画など)で自動的に入力パラメータを変化させて、または手作業で実験を定義可能。
• 検討対象の出力応答をプロセス特性(酸化膜厚など)、デバイス特性(しきい値電圧など)、回路特性(立ち上がり時間など)を含むフロー全体から測定可能。
• 各実験単位をネットワークで接続された複数のホストで実行し、シミュレーション時間を短縮可能。
• さまざまな実験単位に対して応答モデルを生成し、入力パラメータが出力応答に与える影響をより柔軟に確認可能。
• 入力パラメータや出力応答測定値を含むワークシート全体をSPAYNにエクスポートして統計的な解析を加えたり、TonyPlotにエクスポートしてグラフ表示したりすることが可能。
  

2009年9月1日 現在
Rev.011209_03