シルバコ・ジャパン ： SILVACO Japan

VWF

バーチャル・ウェハ・ファブ

VWFはDOE(実験計画)と最適化実験を行うためのソフトウェアです。スプリット・ロット実験は、あらかじめ決められたさまざまな解析手法で使用できます。VWFを使用すると、シルバコが提供するすべてのプロセス/デバイス/寄生素子抽出/回路シミュレーションでスプリット・パラメータを定義できます。すべてのシミュレーションは、ワークステーション・クラスタ上または1台のSMPマシン上で並列処理が可能です。VWFはGUIを搭載しており、実験結果の確認もGUI で行えます。

主な特徴

• VWFはプロセス・シミュレーションからSPICE回路シミュレーションにいたるフロー全体または一部を表現可能
• 入力変数としてマスク、プロセス・パラメータ、デバイス・パラメータ、回路パラメータ、調整係数を自由に組み合わせて定義可能
• Box-Behnken計画といったDOE、Levenberg-Marquardtのような最適化アルゴリズム、ユーザー定義可能なスクリプト、あるいは手動設定により入力パラメータを変化させることで実験を定義可能
• 強力なスクリプト・インターフェースにより、DOEの完全なカスタマイズやバックグラウンドにおける実験の実行が可能
• プロセス特性(酸化膜厚など)、デバイス特性(しきい値電圧など)、回路特性(立ち上がり時間など)をフロー全体から測定可能
• 各実験単位をネットワークで接続された複数のホストで実行し、シミュレーション時間を短縮可能
• さまざまな実験単位に対して応答モデルを生成し、入力パラメータが出力応答に与える影響をより柔軟に確認可能
• 入力パラメータや出力応答測定値を含むワークシート全体をSPAYNにエクスポートして統計的な解析を加えたり、TonyPlotにエクスポートしてグラフ表示したりすることが可能
• 高度なセキュリティ機能により、きめ細かなアクセス管理が可能

2011年9月21日 現在
Rev.091311_07