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関連情報:
寄生素子抽出サービス
カタログ (PDF) 500 KB

使用製品:
EXACT
フルチップLPEルール・ファイル生成ツール
QUEST
3次元高周波インダクタンス抽出ツール
CLEVER
高精度3次元寄生素子抽出ツール
STELLAR
大規模セル向け3次元物理ベースRC抽出ツール

寄生素子抽出サービス

受動素子およびセル・レベル寄生抽出サービスは、セル・レベルの受動素子および寄生モデリング要件が不定期に発生するお客様へのソリューションをご提供します。すべての抽出処理はルールではなく物理をベースとしているため、新規かつ独自の構造についても、すべてのカップリング効果に対する高精度な解析を実現します。
受動素子抽出サービスには、シルバコが提供するEXACTおよびQUESTを使用します。セル・レベル抽出サービスには、シルバコが提供するCLEVERを使用します。

EXACTによる配線容量データベース係数抽出サービス

ナノメータ半導体プロセスに対する高精度配線モデルを作成し、主要なフルチップ抽出ツールに対応したLPE（レイアウト・パラメータ抽出）ルール・ファイルを生成します。

EXACTで作成および使用されるテスト構造の例
納品データの例

QUESTによるRF受動素子キャラクタライゼーション・サービス

  • GHｚ周波数領域用2ポート・インダクタのための周波数依存/非依存SPICEモデルを生成
  • 受動素子のマルチポートS/Y/Zパラメータ解析を実行、Wエレメントの伝送線路のSPICEモデルを抽出
  • 利用可能なプロセスおよび必要なインダクタンスの範囲に合わせ、すぐに使えるベクタ・ライブラリを生成（納品にはGDSIIを含む）

納品データ

  • 周波数依存性インダクタンス・モデル、マルチポートSパラメータ、Wエレメント伝送線路、RLCGおよびQファクタ・データ・ファイル、３次元構造ファイル、インタラクティブ2D/3Dグラフィックをお客様に納品
GDSIIレイアウトから生成された
一般的なスパイラル・インダクタ
複数の回転を持つスパイラル・インダクタに対して、
生成された周波数依存Qファクタの例

CLEVERによる高精度ビット・セルRC抽出ツール

  • セル・レベルのフィールド・ソルバにより、抽出したSPICEネットリストにバックアノテートされた、自動化された抵抗および容量の配線寄生を提供
  • 光リソグラフィ・シミュレータを使用してモデル化された3次元構造RCにより、フォト・レジストのコーナ・ラウンディングをサポート
  • OPC（光近接効果補正）を含むマスクを的確にモデル化
  • RC抽出に含まれるデポジション/エッチング処理は、フィールド・ソルバによる処理に先行して、デバイス構造の極めてリアルな3次元モデルを生成し、最高精度の寄生抽出を実現

納品データ

  • アクティブ・デバイスおよびRC抽出を備えたSPICEネットリスト、アクティブ・デバイスを表示するアノテートされたレイアウト・ファイル、インタラクティブ2D/3Dグラフィックをお客様に納品
金属ジオメトリにおけるリソグラフィ効果は、結果として得られる容量に大きく影響します。
CLEVERは、3次元フィールド・ソルバを使用して寄生RおよびC素子を抽出し、
抽出されたトランジスタ・ネットリストにバック・アノテートします。

2010年8月30日現在
Rev.082610_08