フルチップLPEルール・ファイル生成ツール

Exact™の物理ベース3次元RCフィールド・ソルバであるCleverと、強力なDOE(実験計画) やスクリプト言語の組み合わせにより、任意のフルチップ寄生素子抽出ツールと連携して使用できます。Exactは、ナノメータ半導体プロセスに対して配線モデルを高精度に計算し、フルチップLPE ( レイアウト寄生素子抽出) 用のルール・ファイルを生成します。

特長

  • 非平坦な半導体形状に対応する強力な3次元フィールド・ソルバは、特殊なエッチ形状、デュアル・ダマシン、low-k誘電体を高精度にモデリング可能
  • 3次元フィールド・ソルバは、抽出パフォーマンスを損なうことなく、配線容量モデルを計算し、極めて高精度なLPEルール・ファイルを生成可能
  • 直感的で使いやすいGUIにより、新規ユーザから熟練のプロセス・テクノロジ開発者まで、容易にプロセス・レイヤの記述やテスト構造の定義が可能
  • 標準モードの動作でほとんどの従来型プロセスに対応でき、アドバンスト・モードではより複雑で非平坦なプロセス定義に対応
  • 強力なスクリプト言語により、任意のフォーマットにデータを加工可能
Exactのフロントエンド
コンフォーマルに堆積された、非平坦多層絶縁膜を持つ多層金属配線プロセス

スムーズな導入と優れた操作性

  • デッキの自動生成と3次元フィールド・ソルバの自動実行
  • メニュー方式のパラメタライズド・レイアウト生成機能により、テスト構造およびパターンを容易に生成可能
  • Lisaスクリプト言語を使用して、LPEファイルを容易に作成可能
  • 柔軟なアーキテクチャにより、計算した寄生データを、xCalibre、Calibre xRC、Diva/Dracula LPE、Hipexなどの幅広いカスタム方程式に適用可能
  • プロセスおよびレイアウトのプレビュー

高い生産性と汎用性

  • バッチモード・オプションにより、再キャラクタライズの自動実行が可能
  • アドバンスト・モードの動作では、熟練ユーザ向けに、より高度なプロセス・モデルを提供
  • 容量変動に対する統計解析が可能
  • 実験の解析を容易にする、わかりやすい抽出容量テーブル
  • ワークシート/オプティマイザ
  • マルチプロセッサ・マシン対応
  • 1D/2D/3Dモードの自動選択
  • レイヤ個別のDOEを組み合わせることで、シミュレーション時間を削減
Exactで作成および使用されるテスト構造の例
DOEで使用する任意のテスト構造に対し、 パラメタライズド・レイアウトを容易に作成可能
オリジナルのExact容量データと、そのデータの合わせ込みに使用された、最適化された係数を持つ方程式との比較
合わせ込み作業をインタラクティブに制御できる オプティマイザ・ウィンドウ

先進の半導体プロセスをサポート

  • Exactの配線寄生容量モデリングは以下をサポートします。
  • 平坦/非平坦の誘電体
  • low-k誘電体および銅ダマシン・プロセス
  • 誘電体のコンフォーマル・デポジション
  • OPC (光近接効果補正)にもとづくサブ波長リソグラフィ効果
  • 配線容量に対するプロセス変動効果
  • 統計解析およびワーストケース寄生解析は、既知のプロセス・マージンを抽出データに適用して実行
  • 非平坦な半導体形状に対応する強力な3次元フィールド・ソルバは、特殊なエッチ形状、デュアル・ダマシン、low-k誘電体を高精度にモデリング可能
  • 3次元フィールド・ソルバは、抽出パフォーマンスを損なうことなく、配線容量モデルをキャリブレートし、極めて高精度なLPEルール・ファイルを生成可能
  • 内蔵のオプティマイザにより、合わせ込みおよびプロセス最適化の精度が向上
  • フローティング導体をシミュレーション可能
実験で得られたデータを表示するワークシート
Exactで生成されたMentor Graphics社仕様のxCalibre/Calibre xRCルール・ファイル
容量係数のプロセス変動効果を、グラフィカルに表示できます(a)。 統計解析も行えます(b)。
ヒストグラムは、パターンばらつきによる配線のラテラル容量分布を示します。
Exactの入力/出力

Rev.061913_30