高精度3次元寄生素子抽出ツール

Clever™は、任意形状の3次元構造に対応した物理ベースの高精度な抵抗・容量抽出ツールです。解析対象となる構造は、Cleverの内蔵プロセス・シミュレータから作成することも、シルバコのVictory 3次元プロセス・シミュレータからインポートすることも可能です。Cleverはフィールド・ソルバにより抽出された抵抗・容量素子を、ネットリストにバックアノテーションします。また、液晶シミュレータとして内蔵の液晶配向子の物理ソルバにより、バイアス依存の容量シミュレーションと光透過率シミュレーション機能を持っています。

おもな特長

任意形状の3次元構造対応のフィールド・ソルバを利用した、物理ベースの抵抗・容量抽出ツール
局所的な電界依存性をもつ、物理ベースの液晶誘電率計算
電界依存性のある液晶配向子の解析
電圧依存性のある光透過率の解析によりパターンを可視化
アクティブ・デバイスを含むネットリスト抽出機能を統合
抽出された容量と抵抗の抽出ネットリストへのバックアノテーションを自動化
内部で3次元構造を作成、またはVictory 3次元TCAD製品から構造をインポート
レイアウト・エディタから実行できるGUIインタフェースオプション
電気的にフローティングなダミー・ノードをサポート
ユーザが指定可能な複数のソルバを用意
境界条件、材料特性、解の許容誤差値を設定可能
ひとつのノードから、複数のノードに分配された容量値を抽出可能
FinFETのミドル・エンド・オブ・ライン(MEOL)容量解析

メリット

Cleverは、リアルなエッチング/デポジション・モデルなどを備えた高い汎用性を誇る高精度RC抽出ツールで、複雑な配線セルであっても高い生産性を実現することができます。Cleverに搭載されたAMR機能を局所的に実行することで、目標とする精度を実現できます。また、Cleverは自由度のあるメッシュに対し必要に応じて自動的に細分化法を使用するため、メッシュの精度を最大化することができます。