Clever™は、任意形状の3次元構造に対応した物理ベースの高精度な抵抗・容量抽出ツールです。解析対象となる構造は、Cleverの内蔵プロセス・シミュレータから作成することも、シルバコのVictory 3次元プロセス・シミュレータからインポートすることも可能です。Cleverはフィールド・ソルバにより抽出された抵抗・容量素子を、ネットリストにバックアノテーションします。また、液晶シミュレータとして内蔵の液晶配向子の物理ソルバにより、バイアス依存の容量シミュレーションと光透過率シミュレーション機能を持っています。
Cleverは、リアルなエッチング/デポジション・モデルなどを備えた高い汎用性を誇る高精度RC抽出ツールで、複雑な配線セルであっても高い生産性を実現することができます。Cleverに搭載されたAMR機能を局所的に実行することで、目標とする精度を実現できます。また、Cleverは自由度のあるメッシュに対し必要に応じて自動的に細分化法を使用するため、メッシュの精度を最大化することができます。
![]() 典型的な高アスペクト比のFinFETロジック・セル |
![]() ひとつの電極からの容量を、電気的に接続されている複数のノードに分配可能 |
![]() 実際のメタル配線のSEM写真 |
![]() Victory 3次元プロセス・シミュレータからインポートされた3次元構造との比較 |
![]() GDS-IIファイルから切り出された画素マトリックス |
![]() 容量計算中の電位分布と自動生成されたメッシュ |
![]() LCD表面上の2つの山形電極に対する電位分布 |
![]() 左中央の断面で、6ボルト印加時のLCD配向子 |
![]() 上の図で示されている構造中の容量 v.s. 電圧(C-V)プロット |
![]() メッシュ生成オプションの例(ドローネ・メッシュ) |
![]() 液晶セルの平均透過率における画素電圧依存性:異なる画素電圧における液晶セルの上部から見た光透過パターン |
![]() 異なる画素電圧ごとの液晶セルの平均透過率における波長依存性 |
![]() タッチスクリーンに人の指が触れる様子を再現した3次元構造 |
![]() 2つの電極間の容量とタッチスクリーン上の人の指の高さの関係 |
![]() レイアウト・エディタからの実行オプションを使用する際に起動されるGUIインタフェース |
![]() レイアウト・エディタに搭載されているGUIを使用して自動的に生成された3次元構造 |
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