プロセス・シミュレーション

3次元

3次元プロセス・シミュレータは、レイアウト・ドリブンの汎用1次元/2次元 /3次元プロセス・シミュレー タで、エッチング/デポジション、イオン注入、拡散、酸化の機能で構成されます。

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2次元

プロセス・シミュレーション・フレームワーク。 Athenaフレームワークは、プロセス・シミュレーション・モジュールをシルバコのTCADインタラクティブ・ツールで構成する使いやすい環境に統合します。

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デバイス・シミュレーション

3次元

Victory Deviceは、4面体メッシュ・エンジンを使用して複雑な3次元形状を高速かつ高精度にシミュレートする3次元デバイス・シミュレータです。シリコン、2元/3元/4元 系材料のデバイスに対してDC、AC、過渡解析を実行できます。

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2次元

Atlasは、デバイスの電気特性、光学特性、温度特性をシミュレートする、デバイス・エンジニアのためのフレームワークです。半導体ベースの広範なテクノロジについて、DC、AC、および過渡特性を2次元/3次元で解析できます。

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その他のツール

インタラクティブ・ツール

シルバコの1次元/2次元/3次元TCADシミュレータに対してインタラクティブGUIベースのプリ/ポスト処理の機能を備えたアプリケーション・パッケージです。

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Virtual Wafer Fab

VWFはDOE(実験計画)と最適化実験を行うためのソフトウェアです。スプリット・ロット実験は、あらかじめ決められたさまざまな解析手法で使用できます。

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