DevEdit

構造/メッシュ・エディタ

DevEdit™を使用して、デバイスを新規に生成、または既存のデバイスを再メッシュ/編集することが可能です。また、DevEditは、シルバコの2次元/3次元シミュレータおよびその他の支援ツールで容易に読み込むためのシルバコの標準構造を作成します。

DevEditは、コマンドで制御するバッチ・モードにおいてDeckBuild環境内で直接使用することが可能です。コマンドモードでは、DeckBuildまたはVWFによりDevEdit構造をパラメタライズし、自動的に変更することが可能です。デバイス設計者は、構造をシミュレートすることにより、デバイスのスプレッドおよびコーナー特性を分析することができます。さらに、バッチ・モードでは、既存構造を半自動に再メッシュすることが可能です。DevEditは、デバイス・シミュレーションの前にプロセス・シミュレーション構造を再メッシュすることでシミュレーション時間を大幅に削減します。また、DevEditは、部分的な構造を鏡像反転、拡大・縮小、または複製したり、あるいは、複数の構造を結合してデバイスを完成させることでプロセス・シミュレーション時間を短縮します。

DevEditは、設計者が直接デバイスを描画または編集できる完全なインタラクティブGUIによって操作が可能です。デバイスを直接生成することにより、プロセスの詳細を最適化する必要がなく、更には、プロセスの情報を全く必要とせず、シミュレーションを実行することが可能になります。つまり、不必要で時間がかかる仮想的なプロセスの最適化を避けることで生産性を向上できます。デバイス設計者は、DevEditを使用して、パフォーマンスを最適化するために異なるデバイスを試すことが可能です。変更したデバイスは、製造可能かどうかを決定するためにプロセス設計者にフィードバックされます。DevEditには、ドーピング情報の基準として1次元ドーピング・プロファイルを読み込む機能など編集を支援するためのパワフルなツールが多数搭載されています。
[注記:GUIモードはLinuxで使用可能です。]

インタラクティブ・モードとバッチ・モードの両モードで、DevEditは、広範囲の再メッシュ機能を提供します。メッシュ生成の際、物性値を任意の数だけ選択し、それぞれに独立した重み付けをし、メッシュ適応に使うことができます。メッシュはrelaxとrefineボックスを使用して直接変更することが可能です。

領域編集

  • 任意の材料や多角形の領域を指定。
  • 既存領域、材料、形状、ベースの不純物を修正。
  • 既存領域の一部を自動的にエッチング、または既存領域を変更せずに、デバイスに新規の領域を追加。
  • 電極の位置、名前、仕事関数を定義。

ドーピング編集

  • Gaussianまたは相補誤差関数などの解析的ドーピング・プロファイルを追加。
  • 新規の2次元ドーピング・プロファイルを作成するために複数の2次元デバイスの組み合わせが可能。
  • 1次元ドーピング・プロファイルをインポート。
  • 1次元ドーピング・プロファイルと解析的ドーピング・プロファイルを組み合わせて、迅速かつ現実的なドーピング濃度を生成。
DevEditによってAtlas Blaze/Blaze3Dのシミュレーション用に ノンプレーナHBT構造を作成することができます。

2次元メッシュ

  • 最小限の鈍角三角形で高品質の三角形メッシュを生成。
  • 重要ではない領域の要素を削減しながら、細分化の基準に従ってメッシュ要素を維持。
  • 材料タイプ、品質変更、位置、相関位置を含む複数の基準に基づいた、メッシュ要素の増減を制御可能。

3次元メッシュ

  • 2次元メッシュに使用した同じアルゴリズムに基づいて高品質の三角柱または四面体を作成。
  • シンプルで柔軟な平面作成アルゴリズムを使用して、理解しやすい1平面細分化の基準を3次元に拡張可能。

インタフェース

  • AthenaAtlasなどのプロセス・シミュレータおよびデバイス・シミュレータによって生成された2次元構造を読み込み可能。
  • Athenaの1次元ドーピング・プロファイルを読み込み可能。
  • AthenaAtlasなどのプロセス・シミュレータおよびデバイス・シミュレータ向けに2次元構造を書き出し可能。
  • Atlas Device 3DやVictory Deviceなどのデバイス・シミュレータ向けに3次元構造を書き出し可能。
上図は、DevEditによって接合位置(黒ライン)の周りに高度なメッシュが細分化されたNMOSデバイスを示しています。
上図は、DevEditを使用して3次元構造を再メッシュし、Atlasで3次元シミュレーションを実行した結果を示しています。
後続のAtlasシミュレーションで高精度を得るため、DevEditのメッシュ・ボックス機能を使用してゲート酸化膜チャネルにおけるメッシュ密度を増加させます。
DevEditには、デバイス生成を容易にするための機能が数多く含まれています。この例では、ベースの酸化物の上にCCDレンズを配置するためにCircleツールを使用しています。
DevEditの強力なバッチ・モードは、シミュレータのように機能し、コマンドによる入力(形状、ドーピング、メッシュ)を実行できます。

Rev.062613_06