プロセス・シミュレーション・フレームワーク

3次元

Victory Processは汎用3次元プロセス・シミュレータです。一連のプロセス・フローを網羅するコア・シミュレータと、モンテカルロ法による注入、先進的な拡散/酸化、および物理モデルのエッチング/デポジションの3つの高度なシミュレーション・モジュールで構成されています。

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2次元

Athenaフレームワークは、プロセス・シミュレーション・モジュールをシルバコの TCADインタラクティブ・ツールで構成する使いやすい環境に統合します。 Athena はスタンフォード大学で開発された世界的に有名なシミュレータ SUPREM-IVを進化させたもので、多数の教育/研究機関や企業の開発者の方々との共同開発で、多くの新しい性能が付加されています。

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Rev. 042313_22