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リアルな3次元TCAD構造を使用した高精度寄生RC抽出

配信開始日: 2018年3月30日

寄生RCを正確に見極めることは、最新の半導体技術を設計、統合する上で重要な要素となります。ルール・ベースの寄生抽出を使用する従来のフローでは、精度の要求を満たせない場合や、適切なLPEルール・デッキが準備できない場合があります。このような問題の解決には、フィールド・ソルバを利用する物理ベースの寄生抽出が最適なソリューションです。フィールド・ベースのソリューションでは、寄生RCに及ぼす形状の影響を、より詳細に考慮できるリアルな3次元形状を用いることで、最適な寄生抽出が可能です。

概要:

  • RC抽出の紹介 – フィールド・ソルバ対ルール・ベースの手法
  • シルバコのTCAD to SPICEフロー
    • Victory Process 3D TCAD – レイアウト・ドリブンな3次元構造のプロトタイプ、または詳細な物理ベースでのTCADプロセス・シミュレーション
    • Clever – 物理ベースの抵抗および容量フィールド・ソルバ
    • SmartSpice – 高精度SPICEシミュレーション
  • おもな用途
    • BEOLおよびMEOL寄生素子を含むCMOSテクノロジ
    • ディスプレイ設計
  • TCAD-to-Spiceフローの事例
    • 3次元構造生成、高精度RC抽出、MEOL寄生素子を含むFinFETベースのSPICE回路シミュレーション

プレゼンタ:

Garrett Schlenvogt博士は、マサチューセッツ州ノース・チェルムズフォードにあるシルバコ東海岸のセールス/サポート・オフィスを拠点とする、シルバコTCAD部門のSenior Applications Engineerです。シルバコに入社し、5年間、先端CMOS、ディスプレイ・テクノロジ、センサ、パワー・デバイス/RFデバイスといった幅広いアプリケーションにおいてお客様にプリセールスおよびサポートを提供しています。さらに、Garrettは教育機関、営利団体の双方に働きかけ、複数の研究企画、協業を主導してきました。シルバコ入社以前は、アリゾナ州立大学の助手として、過酷な使用環境での信頼性シミュレーションおよびCMOSテクノロジのモデリングを研究していました。

Schlenvogt博士は、アリゾナ州テンピにあるアリゾナ州立大学で電気工学の学士、修士号、博士号を取得しています。


対象:

設計において寄生RCの更なる最適化を目指し、詳細かつ正確な寄生情報を求める回路設計者。寄生RCがパフォーマンスに与える影響を検討するために、3次元TCADを利用してデバイス設計の最適化を目指すプロセス技術者、デバイス技術者、インテグレーション技術者