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2次元Victory Process – ロバストな3次元ソリューションを保証するSUPREMベース・シミュレータの革新的代替

配信開始日: 2016年12月9日 スタンフォード大学によるSUPREM-IVベースの2次元プロセス・シミュレータは、30年以上にわたり半導体研究業界で使用されてきました。半導体テクノロジの著しい進化により、新世代のTCADツールへの移行の必要に迫られています。Victory Processシミュレータは、1次元/2次元/3次元プロセス・シミュレーションに対するソリューションと、新しい材料やプロセスをプロセス・フローにシームレスに導入することができることから、現在のものだけでなく、将来的な業界の条件をほとんど満たしています。Victory Processは、データ構造、グリッド、ソルバーのような革新的な技術を多く使用しており、過去のプロセス・シミュレータよりも優れた点がいくつもあります。同時に、Victory Processは「古い」シミュレータからの移行を円滑に行い、ユーザも比較的容易に習得することが可能です。このウェビナーでは、Athenaの代替として、またはフル3次元シミュレーションへの移行として、Victory Processの2次元版(VP2D)の使用方法をご紹介します。


概要:

  • AthenaとVictory Processの主な違い
  • 過去のSUPREMベースのデッキを、DeckBuildのユーティリティA2VPを使用してVP2Dに変換する方法
  • ユーティリティA2VP を使用したVP2D
  • シミュレーション・メッシュを設定、管理、生成/非生成する方法
  • レイアウト・ドリブンのプロセス・シミュレータの使い方
  • ベーシックな幾何学/物理的エッチングおよびデポジション・モデルの使い方
  • 2次元構造を可視化およびデバイス・シミュレーションのためにエクスポートする方法

プレゼンタ:

Misha Temkin氏は米国カリフォルニア州、サンタクララのシルバコTCAD部門におけるシニア・アプリケーション・エンジニアです。40年前に旧USSRでキャリアをスタートさせ、イオン注入理論およびシミュレーションについて2冊の本と20の論文を共著しました。1989年にシルバコに入社してからは、Athenaプロセス・シミュレータの開発とサポートをリードし、近年はAthenaからVictory Processへの移行に着目しています。